利和兴投资者提问：公司研发的全自动紫外纳米压印光刻机可广泛应用于微纳流控芯片加...

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利和兴(301013)投资者提问：公司研发的全自动紫外纳米压印光刻机可广泛应用于微纳流控芯片加工、微纳光学元件、微纳光栅、NMEMS器件等微纳结构器件的制备，应用范围是否如此？谢谢

利和兴(301013)回复内容：
尊敬的投资者，您好！全自动纳米压印生产线技术运用快速精密对位、非接触精确测厚、精密缺陷检测、光透传感、位移及角度补偿等自动控制相关技术，结合纳米压印的纳米模压技术与固化技术，把纳米压印行业内的单机手工作业方式改变为全工序自动化方式。该自动化系统可应用于多领域的精密微加工如半导体、OLED 显示屏、纳米电子、光电子、数据存储介质、生物科技、纳米流道等。

回复时间 2021-07-09 13:34:56

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